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廣州潽拓光電科技有限公司

花都區愛(ài)發(fā)科渦輪分子泵異響處理-廣東潽拓光電

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  • 主營(yíng)產(chǎn)品:分子泵控制器,真空分子泵,AE電源,真空油泵,真空系統
  • 公司地址:廣州市番禺區化龍鎮潭山環(huán)村公路1-1號
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分子真空泵是在 1911 年由德國人蓋德  首先發(fā)明的,并闡述了分子泵的抽氣理論,分子泵,使機械真空泵在抽氣機理上有了新的突破。      分子泵的抽氣機理與容積式機械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機理不同,分子泵是在分子流區域內靠高速運動(dòng)的剛體表面傳遞給氣體分子以動(dòng)量,使氣體分子在剛體表面的運動(dòng)方向上產(chǎn)生定向流動(dòng),從而達到抽氣的目的。



 通常把用高速運動(dòng)的剛體表面攜帶氣體分子,并使其按一定方向運動(dòng)的現象稱(chēng)為分子牽引現象。因此,人們將蓋德發(fā)明的分子泵稱(chēng)為牽引分子泵。分子泵公司主要提供各品牌分子泵電源,真空計,真空顯示器,氦氣檢測儀,質(zhì)譜儀的維修、保養、銷(xiāo)售等服務(wù)。分子泵分子泵是利用高速旋轉的轉子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。



這種泵具體可分為:  ?。?)牽引分子泵氣體分子與高速運動(dòng)的轉子相碰撞而獲得動(dòng)量,被驅送到泵的出口。

?。?)渦輪分子泵 靠高速旋轉的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來(lái)實(shí)現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。

(3)復合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復合型的分子真空泵。



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渦輪分子泵的工作特性主要表現在以下幾個(gè)方面:

(1)抽速與轉速的關(guān)系抽速與轉速之間的關(guān)系大致為S(4-67)。其中:g是由幾何形狀決定的常數;u是活動(dòng)刀片的轉速。隨著(zhù)速度的增加,泵送速度比直線(xiàn)略慢。這可以通過(guò)在抽速較高時(shí)對進(jìn)氣管電導率的限制來(lái)解釋。根據(4-66),隨著(zhù)S1的增加,S將偏離直線(xiàn)。



(2)泵送速度與入口壓力之間的關(guān)系在分子流的壓力范圍內,分子泵的泵送速度幾乎沒(méi)有變化。因為分子電導C與分子流動(dòng)過(guò)程中的壓力無(wú)關(guān);根據公式(4-65),S1僅確定葉片形狀,速度和氣體類(lèi)型,并且與壓力無(wú)關(guān)。因此,根據公式(4-66),實(shí)際抽速與壓力無(wú)關(guān)。但是,當增加壓力以不滿(mǎn)足分子流動(dòng)條件(大約2×101Pa)時(shí),由于大多數分子無(wú)法直接與葉片碰撞,因此泵速會(huì )迅速降低。如圖4-62的右側所示,曲線(xiàn)1、2和3對應于壓縮比與不同前級泵



(3)的速度和相對分子質(zhì)量之間的關(guān)系。壓縮比與速度的平方根和相對分子質(zhì)量成指數關(guān)系(G(4-68在公式中,G是由幾何形狀確定的參數。測量結果與公式基本一致。圖4-63顯示壓縮比,其中:p代表前級泵端口的壓力和力,代表分子,泵的入口壓力,在相同速度下,大的氣體分子具有大的壓縮比,高的極限真空,輕質(zhì)氣體成分,壓縮比小,極限真空低,即輕質(zhì)分子主要處于分子泵的極限真空中;除去氫,氦等輕質(zhì)分子的能力較弱。重量具有較高的壓縮比,這是渦輪分子泵可用于獲得清潔真空的物理基礎

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為了確認磁場(chǎng)對分子泵工作的影響,德國卡爾斯魯厄理工學(xué)院()設計并執行了下面的測試:測試條件和裝置被測分子泵的型號為T(mén)wisTorr304FSCFF6,使用一對亥姆霍茲線(xiàn)圈(直徑120厘米)來(lái)產(chǎn)生包圍整個(gè)泵的均勻磁場(chǎng)。使用20℃的冷卻水對分子泵持續進(jìn)行冷卻;分子泵的控制器會(huì )自動(dòng)調整電機電流,保持轉子以恒定轉速運行。



使用安裝于分子泵口的紅外溫度計測量被測試分子泵的轉子溫度。使用連接到分子泵外殼的PT100熱電阻測量定子的溫度。測試過(guò)程試驗期間,渦輪泵以滿(mǎn)轉速持續運行。初始的磁場(chǎng)設置為1mT,泵在該磁場(chǎng)下運行12個(gè)小時(shí)以穩定轉子溫度;然后關(guān)閉磁場(chǎng),再運行12個(gè)小時(shí)以使轉子降溫;然后再分別把磁場(chǎng)設置為2mT,按照前面的步驟繼續進(jìn)行測試,直至磁場(chǎng)增加到7mT。




當磁場(chǎng)逐步增加后,被測分子泵轉子的平衡溫度也隨之上升,當磁場(chǎng)強度為7mT時(shí),平衡溫度上升到100攝氏度左右(分子泵的很大允許溫度為120度)。

另外,使用該測試平臺測試了另一臺其它品牌的分子泵,一系列的對比測試表明,分子泵在相同的磁場(chǎng)條件下轉子的平衡溫度明顯較低(5mT時(shí),低大約40度)。

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